掩模對(duì)準(zhǔn)器是半導(dǎo)體制造過(guò)程中用于將圖案轉(zhuǎn)移到晶圓或基板上的精密機(jī)床；這些圖案是微米級(jí)和納米級(jí)的。圖案（結(jié)構(gòu)）是使用陰影轉(zhuǎn)移方法創(chuàng)建的，其中要印刷的圖案（光掩模）放置在光源和要圖案化的基板（晶圓）之間。被圖案化的基板首先涂有感光材料（光致抗蝕劑），然后該材料對(duì)從陰影圖像投射的光作出反應(yīng)。然后使用特定的化學(xué)品開(kāi)發(fā)最終的圖案。這個(gè)過(guò)程通常被稱為光刻。

      掩模對(duì)準(zhǔn)器使光刻能夠用于生產(chǎn)半導(dǎo)體器件，如晶體管、傳感器和醫(yī)療元件等。除了用光刻膠均勻涂覆基板的方法外，掩模對(duì)準(zhǔn)器對(duì)于光刻工藝至關(guān)重要。掩模對(duì)準(zhǔn)器用于將涂層基板精確地對(duì)準(zhǔn)包含要圖案化的結(jié)構(gòu)的光掩模，然后用光照射基板以將所需的圖案轉(zhuǎn)移到基板上。在光檢測(cè)器易受溫度變化影響的應(yīng)用中，例如半導(dǎo)體光刻中使用的UV掩模對(duì)準(zhǔn)器，必須將光檢測(cè)器溫度系數(shù)視為可能的誤差源。目前許多掩模對(duì)準(zhǔn)器采用強(qiáng)大的汞（Hg）燈，發(fā)射高水平的紫外線，暴露基板上的光敏材料（光刻膠）。取決于所使用的光刻膠，光應(yīng)在寬帶范圍或特定光譜 G：436 nm、H：405 nm 或 I：365 nm 中傳輸。

      獲得汞燈青睞的替代選擇是使用 UV LED 陣列。它們包含許多 LED，它們?cè)?G、H 或 I 線波長(zhǎng)下發(fā)光，或三者的組合，以產(chǎn)生與水銀燈泡相似的寬帶光譜。 （插圖-什么是掩模對(duì)準(zhǔn)器）

      Gigahertz Optik GmbH 生產(chǎn)許多 不同配置的紫外濾光輻射計(jì) 經(jīng)典光譜寬帶紫外燈，如 中高壓汞蒸氣燈或低壓燈 在面罩矯正器中發(fā)現(xiàn)。這些輻射計(jì)是與制造掩模對(duì)準(zhǔn)器和其他光刻設(shè)備的客戶協(xié)調(diào)開(kāi)發(fā)的。這通常導(dǎo)致我們成為具有自有品牌業(yè)務(wù)安排的OEM供應(yīng)商。我們提供獨(dú)特的定制解決方案，例如內(nèi)置于電子設(shè)備中的溫度校正功能，可測(cè)量溫度并相應(yīng)地校正輻照度讀數(shù)。

      我們還提供用于測(cè)量不同LED波長(zhǎng)輻照度的紫外輻射計(jì)和提供波長(zhǎng)和強(qiáng)度信息的光譜輻射計(jì)。紫外濾光輻射計(jì)的優(yōu)點(diǎn)包括良好的性價(jià)比、所需的扁平薄型探測(cè)器設(shè)計(jì)、快速測(cè)量時(shí)間和堅(jiān)固性。光譜輻射計(jì)不限于特定的光譜帶通，因此它們更通用和有用，特別是在研究用途中。

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      我們提供 帶濾光片校正探測(cè)器的紫外輻射計(jì) 適用于經(jīng)典光譜寬帶紫外燈，例如中壓汞蒸氣燈或面罩對(duì)準(zhǔn)器上的低壓燈。在這里，我們依靠與該領(lǐng)域主要客戶數(shù)十年的經(jīng)驗(yàn)。通常，我們還充當(dāng)帶有客戶徽標(biāo)的OEM供應(yīng)商。 由于LED光源的使用越來(lái)越多，我們還提供 用于測(cè)量不同 LED 波長(zhǎng)輻照度的紫外輻射計(jì)以及光譜測(cè)量系統(tǒng)（光譜輻射計(jì)）.紫外輻射計(jì)的優(yōu)勢(shì)在于其良好的性價(jià)比、扁平化設(shè)計(jì)、較短的測(cè)量時(shí)間和堅(jiān)固性。光譜輻射計(jì)的測(cè)量在很大程度上與LED的光譜范圍無(wú)關(guān)。我們很樂(lè)意與您合作，為您找到最佳解決方案，我們也很樂(lè)意支持 OEM 標(biāo)簽。

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